高純氧化鋁在精密陶瓷軸承的摩擦磨損性能與應(yīng)用研究

時間：2025-05-24

作者：石家莊市京煌科技有限公司

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詞條
詞條說明
探討高純氧化鋁在拋光液（CMP）中的粒徑控制與分散技術(shù)
高純氧化鋁在拋光液中的關(guān)鍵作用高純氧化鋁因其優(yōu)異的硬度、化學穩(wěn)定性以及可控的粒徑分布，成為化學機械拋光（CMP）工藝中不可或缺的材料。拋光液的性能直接影響半導體、光學玻璃等精密器件的表面質(zhì)量，而氧化鋁顆粒的粒徑控制與分散技術(shù)則是決定拋光效率與精度的**因素。粒徑控制：決定拋光精度的關(guān)鍵氧化鋁顆粒的粒徑直接影響拋光效果。顆粒過大容易導致劃傷，過細則可能降低拋光速率。理想的粒徑范圍通常在幾十到幾
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高純氧化鋁在精密陶瓷軸承的摩擦磨損性能與應(yīng)用研究
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