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羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
【旋片式真空泵冒煙噴油】怎么回事一般指旋片式真空泵在運轉中排氣口冒煙或者噴油。 1、冒煙,如果是泵剛剛開始運轉有冒煙的現象,屬于正常,如果長時間在冒煙就是不正常了。解決辦法:冒煙說明泵的進氣口外,包括管道、閥門、容器有修理的情況。檢漏以后處理了,冒煙會結束。檢查旋片式真空泵的電磁閥。 2、噴油,說明進氣口外有大量的漏點,甚至是進氣口暴露大氣。解決辦法:封住泵的進氣口使泵運轉,如果不噴油的話,說明有
葉片安裝方法:1、真空泵葉片的安裝。不論是我司生產的真空泵葉片還是進口真空泵葉片,在沒有技術人員指導下,自行安裝時一定要正確,避免真空泵葉片斷裂或在運轉過程中安裝不好導致軸承卡死,造成泵體磨損的真空度不足等情況發生。2、葉片的區分。市面上的真空泵葉片材質有鋁合金、合金鋼、玻璃纖維樹脂、銻樹脂石墨葉片。其功能都是一樣的,但不同材質導致的性能又不一樣。(1)使用金屬材質的葉片噪音相對于樹脂葉片和碳片較
泵軸軸承位磨損真空泵傳動部位磨損是普遍存在的問題,其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位,傳統方法以補焊和刷鍍噴涂為主,但兩者均存在一定弊端:補焊高溫產生的熱應力無法完全消除,易造成材質損傷,導致部件出現彎曲或斷裂;而電刷鍍受涂層厚度限制,容易剝落,且以上兩種方法都是用金屬修復金屬,無法改變“硬對硬”的配合關系,在各力綜合作用下,仍會造成再次磨損。當代西方國家針對以上問題多使用高分子復合
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