關于以色列DUMA的光束束腰的概念與測試方法

時間：2023-02-06

作者：深圳維爾克斯光電有限公司

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詞條說明
螺旋相位板原理及使用手冊
螺旋相位板通常也稱為渦旋相位片，其光學厚度與方位角的旋轉成比例，是一種獨特的相位型衍射元件，獨特在于它的表面結構如圖1所示，呈現的是一個“螺旋階梯”的結構，“階梯”從底部到頂部的結構設計基于入射激光波長和光學指數的函數。當入射光束通過螺旋相位板時，螺旋相位板表面結構使透射光束光程的改變量不同，即透射光束相位的改變量也不同，因此產生渦旋光。渦旋光是一種特殊的光場，帶有軌道角動量的新型光場，作為有前景
線激光元件被用于晶圓檢測
在半導體行業中，極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題，這會降低產量并耗費生產的時間和成本。因此，檢測半導體晶圓表面的缺陷和污染至關重要，這是在半導體計量行業許多客戶面臨的挑戰。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷，通常在深紫外（DUV）波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中，Holoor指出當線沿徑向掃描時，晶圓旋轉，產生晶圓的大面積采樣，從而
RPC多合一渦旋相位片與渦旋波片陣列的差異對比
一、RPC多合一渦旋相位板片與渦旋波片陣列的區別1.?特點渦旋波片陣列由多個渦旋波片組合，是采用機械外殼固定的一種新型光學元件，渦旋波片陣列可以拆分成單個渦旋波片使用。LBTEK目前的型號有m=+1~9依次排列組合而成的渦旋波片陣列。渦旋波片陣列是結構為3x3的方形陣列，按照從左到右、從上到下的順序排列。RPC多合一渦旋相位片是在一個渦旋相位板上集成多個小渦旋相位片，并按波長或拓撲荷數兩
用于極紫外光EUV，集成選擇性帶通薄膜濾波片的硅光電二極管
選擇了六個在極紫外光譜中具有有用帶通的涂層進行研究：鋁、鋁/碳，鋁/碳/鈧，鈦，錫，和銀。這些濾波片通常用于0.1至80納米的區域，并有10到50納米的帶通。濾光材料涂層是由有經驗的無支架濾光片供應商在晶圓上涂抹的，以確保光學質量是最先進的。涂層和非涂層光電二極管的輻射測量是通過美國國家標準技術研究所（NIST）的極紫外探測器標準進行的。該設施同時利用了NIST電子存儲環同步輻射源、SURF II